Dielectric barrier discharge plasma deoxidation of copper surfaces in an ▫$Ar/SiH_2$▫ atmosphere

Udachin, Viktor (avtor), Wegewitz, L. (avtor), Dahle, Sebastian (avtor), Maus-Friedrichs, Wolfgang (avtor)

• Jezik: Angleški jezik
• Ključne besede: dielectric barrier discharge, copper deoxidation, argon-silane plasma, x-ray photoelectron spectroscopy
• Vrsta gradiva: Članek v reviji
• Tipologija: 1.01 - Izvirni znanstveni članek
• Organizacija: BF - Biotehniška fakulteta
• Status publikacije: Objavljeno
• Različica publikacije: Objavljena publikacija
• Leto izida: 2022
• Št. strani: Str. 1169-1186
• Številčenje: Vol. 42, iss. 5
• PID: 20.500.12556/RUL-142072
• UDK: 544
• ISSN pri članku: 0272-4324
• DOI: 10.1007/s11090-022-10268-w
• COBISS.SI-ID: 113111043
• Datum objave v RUL: 19.10.2022

Gradivo je del revije

• Naslov: Plasma chemistry and plasma processing
• Skrajšan naslov: Plasma chem. plasma process.
• Založnik: Plenum Press
• ISSN: 0272-4324
• COBISS.SI-ID: 3593999

Sekundarni jezik

• Jezik: Slovenski jezik
• Ključne besede: dielektrična barierna razelektritev, rentgenska fotoelektronska spektroskopija, deoksidacija bakra