20.500.12556/RUL-130062 Študija izvedljivosti uporabe piezouporovnega senzorja za merjenje statičnega navora Feasibility study of using a piezoresistive sensor for measuring static torque Pričujoča magistrska naloga zajema izvedbo študije izvedljivosti uporabe piezouporovnega senzorja za merjenje navora. Razvita sta bila dva načina integracije senzorja, s katerima se je poenostavil postopek pritrjevanja, toda tudi zmanjšala merilna občutljivost. Zasnovan in izdelan je bil eksperimentalni sistem za statično merjenje navora do 7,85 N m. Na njem smo piezouporovni senzor primerjali z merilnim lističem s stališča občutljivosti na mehanske deformacije. Kot ključna zunanja vpliva na delovanje piezouporovnega merilnika sta bila identificirana vpadla svetloba in nečistoče na površini polprevodniškega elementa. Izpostavljen je bil pojav lezenja signala in izmerjene so bile temperaturne karakteristike senzorja. Rezultati te naloge predstavljajo prvi korak v razvoju in karakterizaciji piezouporovnega senzorja za merjenje navora. The master’s thesis covers a feasibility study on measuring torque with a piezoresistive sensor. Its attachment to the surface was studied using two sensor integrations, which also reduced measurement sensitivity. An experimental system for static torque measurements up to 7,85 N m was designed, implemented and used to compare sensitivity to mechanical deformations between the piezoresistive sensor and a metal strain gauge. Stray light and impurities on the semiconductor element surface have been identified as key external influences on the operation of the piezoresitive sensor. The creep phenomenon was examined and the temperature characteristics of the sensor was measured. The results of this thesis represent the first step in the development and characterization of a piezoresistive sensor for measuring torque. piezouporovni senzorji piezouporovni efekt merilniki navora sistemi za merjenje statičnega navora merilni lističi piezoresistive sensors piezoresistive effect torque sensors static torque measurement systems strain gauges true false false [J. Ujčič] Slovenski jezik Angleški jezik Magistrsko delo/naloga 2021-09-10 08:32:23 2021-09-10 08:32:23 2022-09-09 04:14:37 0000-00-00 00:00:00 2021 0 Ljubljana 0 XXIV, 81 str. 0000-00-00 NiDoloceno NiDoloceno NiDoloceno 0000-00-00 0000-00-00 0000-00-00 1970-01-01 681.586:531.781:53.08(043.2) 233472 78657027 10180.pdf 10180.pdf 1 4F49DDB25E5B358AA21C67C6A343379A 70e366243b4c74ca463579e32dc4b7c7e4b8838a5728b3e6beaecdc6aa336e6e 9d3a7a45-1200-11ec-a523-00155dcfd717 https://repozitorij.uni-lj.si/Dokument.php?lang=slv&id=147115 Fakulteta za strojništvo 0 0 0