Karakterizacija napršenih tankih plasti ITO za aplikacije v avtomobilski industrijiDolenc, Jakob (Avtor) Markoli, Boštjan (Mentor) Čekada, Miha (Komentor) Naglič, Iztok (Član komisije za zagovor) Knap, Matjaž (Član komisije za zagovor) ITOindij kositrov oksidnaprševanjetransparentne prevodne tanke plastiuporovni grelecV podjetju Hella Saturnus Slovenija d.o.o. proizvajajo izdelke za avtomobilsko industrijo, ki pogosto vsebujejo uporovne grelne elemente zabrizgane v polimere. Uporovni grelci lahko delujejo tudi na osnovi (transparentnih) prevodnih tankih plasti. V industriji najpogosteje uporabljen material za transparentne prevodne tanke plasti je In2O3–SnO2, indij kositrov oksid (ang. Indium Tin Oxide – ITO). Cilj tega dela je bil ovrednotiti optične in električne lastnosti tankih plasti ITO, ki bi lahko potencialno nadomestile grelne elemente iz žic. Z naprševanjem tankih plasti ITO smo izdelali šest šarž vzorcev, od katerih so bile štiri transparentne. Pri tem smo uporabili tri različne tarče – dve kovinski in eno oksidno. Naprševali smo na podlage iz polikarbonata, stekla in silicija. Transparentnim šaržam smo izmerili debelino tanke plasti ITO po metodi profilometrije, transparentnost v vidnem spektru po metodi UV-VIS spektroskopije, plastno električno upornost s štiritočkovno metodo in radarske lastnosti z metodama RMS (ang. Radome Measuring System) ter QAR (ang. Quality Automotive Radome). Z uporabo vrstičnega elektronskega mikroskopa (SEM) smo analizirali mikrostrukturo tankih plasti ITO ter kemijsko sestavo z metodo energijske disperzijske spektroskopije (EDS). Iz rezultatov, pridobljenih z meritvami in analizami, smo ugotovili, da večja debelina tanke plasti ITO prinese manjšo transparentnost v vidnem spektru in manjšo plastno električno upornost. V odvisnosti od debeline tanke plasti se spreminja tudi kemijska sestava tanke plasti ITO.J. Dolenc20262026-02-25 09:00:09Magistrsko delo/naloga179806UDK: 669VisID: 113373COBISS_ID: 270238467sl