Razvoj in preizkus konfokalnega optičnega sistema za 3D karakterizacijo površinRopoša, Grega (Avtor) Jezeršek, Matija (Mentor) konfokalna mikroskopija3D karakterizacija površinlasersko skeniranjeoptično rezanjepolarizacijska optikaprofilometrijaNatančna 3D karakterizacija inženirskih površin zahteva brezkontaktne metode z visoko ločljivostjo, ki presegajo omejitve klasične mikroskopije. V okviru magistrskega dela smo razvili in optimizirali modularni konfokalni laserski skenirni mikroskop, ki deluje v odbojnem načinu. Izbrana metodologija temelji na optični zasnovi z laserskim virom valovne dolžine 658 nm, uporabi polarizacijske optike za filtriranje parazitskih odbojev ter optičnem vlaknu v vlogi konfokalne zaslonke. Krmiljenje galvanometrskih zrcal in motorizirane osi z smo izvedli z namenskim komunikacijskim protokolom prek mikrokrmilnika. Z eksperimentalno validacijo na aluminijastem vzorcu smo potrdili ustreznost sistema za rekonstrukcijo topografije. Dosegli smo lateralno ločljivost 1,23 μm in aksialno ločljivost 26,0 μm. Referenčna meritev višine stopnice z digitalnim mikroskopom Keyence VHX-7000 je pokazala dejansko višino 45,57 ± 3,06 μm. Z uporabo 3D Gaussovega filtriranja smo pri posamičnem preseku izmerili višino 44,89 μm (napaka -1,5 %), statistična analiza vseh presekov pa je pokazala mediano 45,00 μm (napaka -1,3 %). Razviti sistem tako dosega relativno točnost boljšo od 2 % za višinske razlike reda 50 μm. S sistemom smo uspešno demonstrirali princip optičnega rezanja in profilometrijo kovinskih površin.20262026-02-25 08:31:08Magistrsko delo/naloga179800UDK: 620.3:004.925.84(043.2)VisID: 283230COBISS_ID: 269573379sl