Postavitev in optimizacija CVD sistema za rast grafena na substratih iz bakra in nikljaPavko, Luka (Avtor) Genorio, Boštjan (Mentor) grafenCVDsubstratbakernikeljGrafen je eden izmed najnovejših ogljikovih nanomaterialov, ki je pritegnil veliko pozornosti, zaradi svojih lastnosti in ogromnega potenciala za različne aplikacije. Trenutno je kemijska parna depozicija ena izmed najbolj obetavnih metod za pridobivanje kakovostnih grafenskih slojev na številnih prehodnih kovinah. V ta namen je bil iz osnovnih komponent postavljen delujoč CVD sistem za rast grafena na substratih iz bakra in niklja. Predstavljeni so ključni koraki in potrebne komponente za postavitev delujočega CVD sistema. Preučeni so procesni parametri, ki vplivajo na rast grafena, ter izbira substrata, ki ima pomembno vlogo pri rasti kvalitetnega grafena. Postopek rasti je bil optimiziran do te mere, da lahko kontrolirano rastemo enoslojni grafen na substratih iz bakra in večslojni grafen na substratih iz niklja. Tako pridobljen grafen se bo uporabljal za nadaljnje študije sistemov za shranjevanje in konverzijo energije.20192019-09-13 11:15:06Magistrsko delo/naloga110307VisID: 6867COBISS_ID: 1538431683sl